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    產品詳細介紹: 固態射頻電源常見的型號包括2MHZ, 13.56MHZ ,27MHZ 和64MHZ,最常應用于等離子加工。我們可以根據客戶的需要,提供1 KW,3KW,10KW,20KW等的不同功率等級設備。?產品特性:?頻率穩定度±3%?寬負載適應能力?優越的可靠性能?應用范圍:?? ? 應用于所有等離子加工,包括PECVD,HDPCVD,PVD,ALD?等和集成電路,太陽能電池,平板顯示器,LED,數據儲存設備的制造?技術參數表:?型號 ?詳細指標(點擊查看)頻率 (MHz) 輸出功率 (W) 供電電壓 (V) 效率 (%) 散熱方式 ?WSPS-13.56-100013.561000220V65風冷WSPS-13.56-300013.563000220V65水冷WSPS-27-1000271000220V65風冷WSPS-27-3000273000220V65水冷WSPS-64-1000641000220V65風冷WSPS-64-3000643000220V65水冷WSPS-162-1000162.51000220V65風冷WSPS-162-3000162.53000220V65水冷WSPS-325-800325800220V60風冷WSPS-325-15003251500220V60水冷WSPS-325-30003253000220V60水冷WSPS-433-10043310028V65風冷
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